使用具有金属或氧化物涂层的可再次利用的聚合物模板的纳米压印

摘要

提供用于制造基于聚合物的压印光刻模板的方法和系统，该模板具有薄的金属或氧化物涂覆的图案化表面。这种模板显示增强的流体铺展性和填充性(甚至在不存在吹扫气体时)、良好的释放性质和长使用寿命。具体来说，用于制造氧化物涂覆的模型的方法和系统可在大气压力条件下进行，从而降低加工成本和增强通量。