首页> 中国专利> 一种卡盘的水平调节装置以及使用该装置对卡盘进行水平调节的方法

一种卡盘的水平调节装置以及使用该装置对卡盘进行水平调节的方法

摘要

本发明提供了一种卡盘的水平调节装置,包括卡盘、旋转轴、固定座和数字千分表,卡盘的中心为O,旋转轴的中心轴为Y且竖直,卡盘的中心O在Y轴上;所述旋转轴与卡盘由n个螺丝螺接,n≥3,且n个螺丝在O点所在的水平面上的投影构成一个n边形α的n个顶点;所述固定座上设置有固定杆,该固定杆固定安装有调节螺母,所述数字千分表搭载于调节螺母上,该调节螺母适于调节并锁死数字千分表在竖直方向的高度位置;所述数字千分表的测量端抵住卡盘的表面至有读数,数字千分表的测量端到中心O点的距离为R。同时,本发明还提出了利用上述装置对卡盘进行水平调节的方法。

著录项

  • 公开/公告号CN105529294B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-12-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 盛美半导体设备(上海)有限公司;

    申请/专利号CN201410513026.6

  • 发明设计人 肖东风;贾照伟;王坚;王晖;

    申请日2014-09-29

  • 分类号H01L21/687(20060101);H01L21/66(20060101);

  • 代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人陆勍

  • 地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号第4幢

  • 入库时间 2022-08-23 10:45:57

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-03-27

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L21/687 变更前: 变更后: 申请日:20140929

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2019-12-20

    授权

    授权

  • 2019-12-20

    授权

    授权

  • 2017-10-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/687 申请日:20140929

    实质审查的生效

  • 2017-10-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/687 申请日:20140929

    实质审查的生效

  • 2017-10-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20140929

    实质审查的生效

  • 2016-04-27

    公开

    公开

  • 2016-04-27

    公开

    公开

  • 2016-04-27

    公开

    公开

  • 2016-04-27

    公开

    公开

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