干涉仪用自动角度调节机构及其角度控制方法

摘要

一种干涉仪用自动角度调节机构及其角度控制方法，包括夹具平台，夹具平台上设有固定连接在夹具平台上的夹具立板座和转动连接在夹具平台上的夹具立板，夹具立板与夹具平台之间连接有用以驱动夹具立板向偏摆方向转动的弹性件，夹具平台上还连接有用以驱动夹具立板转动的驱动电机、用以采集夹具立板的转动角度的角度传感器、以及将采集到的转动角度与预输入的偏摆角度比较，形成对驱动电机的驱动行程进行反馈调节控制的控制系统，以自动化控制调节取代了现有的人工靠经验调节与校对，提高调节角度的效率，准确性。