数字波面干涉仪棱镜角度偏差测试技术的研究

摘要

该文通过对移相式数字波面干涉仪得到的测试波面进行处理实现锥体棱镜、屋脊棱镜和直角棱镜角度测试的数字化和自动化.该文首先详细地研究了移相式数字波面干涉仪的测试原理,探讨了这三种棱镜的特性,然后建立了角度误差的数学模型,推导了干涉仪测试这三种棱镜的角度误差公式,最终编制了实用的棱镜测试程序.该文对锥体棱镜进行了测试,并与ZYGO干涉仪的测试结果进行比较,结果表明该文方法的测试精度能够满足二面角角度偏差的测量误差在0.5″范围内.

目录

文摘

英文文摘

绪论

(1)课题背景

(2)本文的主要研究工作

1移相式数字波面干涉仪

1.1引言

1.2移相式数字波面干涉仪

1.3 PSI软件介绍

1.4本章小结

2波面复原

2.1引言

2.2移相干涉术的基本原理

2.3减小移相误差的算法

2.4波面解包

2.4.1基本原理

2.4.2种子点法

2.4.3种子点法的改进

2.5本章小结

3棱镜的特性

3.1引言

3.2直角棱镜的特性

3.3屋脊棱镜的特性

3.4锥体棱镜的特性

3.4.1锥体棱镜简介

3.4.2反射光线的性质

3.4.3面形误差对CCR反射光线性能的影响

3.5本章小结

4干涉法测棱镜参数

4.1引言

4.2干涉法测锥体棱镜参数

4.2.1斐索干涉仪检测

4.2.2泰曼干涉仪检测

4.3干涉法测屋脊棱镜参数

4.4干涉法测直角棱镜参数

4.5本章小结

5锥体棱镜参数测试软件的编制

5.1引言

5.2锥体棱镜参数的获得

5.2.1波面拟合原理

5.2.2由平面方程求角度误差

5.2.3综合误差的一种描述方法

5.3锥体棱镜参数测试模拟仿真软件的编制

5.3.1程序编制流程

5.3.2模拟仿真结果及分析

5.4锥体棱镜参数测试软件的编制

5.4.1从ZYGO得到的数据计算CCR参数

5.4.2完整的CCR测试软件

5.5锥体棱镜测试程序的应用

5.6屋脊棱镜、直角棱镜参数测试软件的编制

5.7本章小结

结论

致谢

参考文献

附录A：PSI测CCR3结果图

附录B：ZYGO测CCR3的结果图