用数字波面干涉仪快速检测平晶的平行度

摘要

文章提出了一种新的检测方法即用数字波面干涉仪检测平晶的平行度。分析了测量不确定度的来源,并对测量不确定度进行了分析评定。与传统的方法相比在保证测量准确度的前提下,大大提高了工作效率。