波面数字干涉仪检测技术及其在光刻镜头生产中应用

摘要

移相式波面数字干涉仪是国际上八十年代出现的一种最先进的光学检测设备，它采用计算机图象处理技术对干涉图形进行实时动态采样处理，从而实现了光学面形的定量测量和形象化图形显示。本文介绍了我所用ＱＧＹ－１型激光球面干涉仪改造成的移相式激光波面数字干涉仪，在光刻镜头生产中的应用。