共光路径向剪切数字波面干涉仪

摘要

一种共光路径向剪切数字波面干涉仪涉及一种光学干涉仪波面检测装置，解决了干涉仪的电控、机械系统复杂，研制成本高，难以保证长光路或测试环境的使用条件，很难达到较高的测试精度的问题。该干涉仪应用新型的共光路剪切干涉光路结构，具体包括：半导体激光器、扩束镜、空间滤波器、准直镜、剪切比控制镜、成像系统；该干涉仪还包括：第一偏振片、第二偏振片和胶合棱镜。本发明采用同轴共光路形式，使共光路干涉系统具有对振动、温度和气流的变化能产生彼此共模抑制的优点，可以在隔振条件和恒温条件较低时也能获得稳定的干涉条纹。因此具有抗干扰特性的数字波面共光路径向剪切干涉光路较为适合于长光路条件下光学系统波像差的实时检测与监控。