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lateral shearing interferometer to phasendifferenzmessung two wellenflächen constant phase

机译：横向剪切干涉仪相位差测量两波面恒定相位

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lateral shearing interferometer to phasendifferenzmessung of wellenflächen. this zweistrahlinterferometer serves for measuring the deviation of a prüfwellenfläche of a flat wellenfläche, and measuring

机译：横向剪切干涉仪对wellenflächen的相位差。该zweistrahl干涉仪用于测量平井的prüfwellenfläche的偏差并测量

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公开/公告号DE3531904C2

专利类型
公开/公告日1987-04-09

原文格式PDF
申请/专利权人 STUDIO S - GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK DATENVERARBEITUNG UND OPTIK MBH 1000 BERLIN DE;
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申请/专利号DE19853531904
发明设计人 THIEME REINHARD 1000 BERLIN DE;
展开▼

申请日1985-09-05
分类号G01J9/02;G01M11/00;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 07:12:15

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