测量非轴对称波面的横向剪切干涉仪

摘要

一种测量非轴对称波面的横向剪切干涉仪，用于对复杂波面进行波面检测，由分束单元、x方向剪切干涉单元、y方向剪切干涉单元、第一图像传感器、第二图像传感器和计算机构成。本发明采用直角棱镜实现光束x方向剪切，梯形直角棱镜实现y方向剪切，利用移动平台实现剪切量大小的调整。具有结构简单紧凑、在同一平台进行操作、剪切量可调的优点。