马赫－曾德尔型剪切波面测量系统及其剪切波面测量方法

摘要

一种马赫-曾德尔型剪切波面测量系统及其剪切波面测量方法，该系统包括：由入射平板、出射平板、固定底座、第一反射平板、第二反射平板、第三反射平板、第四反射平板、第一导轨、第二导轨、成像透镜、小孔和CCD成像仪构成的干涉系统；提供精度保证的调整设备包括自准直平行光管、第一反射镜、激光准直光源、基准透反射镜、第二反射镜、光阑、第一五棱镜和第二五棱镜；控制处理系统包括压电控制器和计算机处理系统。本发明是一种适用于测量大口径，衍射极限下的波面，特别是适用于短相干长度的光源波面，可以进行移相处理，配有实时调整和标定的完整系统。