装载口及装载口的气氛置换方法

摘要

本发明提供一种装载口，能够在将基板收纳空间内部维持为净化气体气氛的状态下，利用搬运机器人进行基板的搬入搬出。在将基板收纳容器的盖开放之后，在比开放位置进一步前进的第3位置，通过将基板收纳容器的开口部的周缘部密闭的框体以及多个遮蔽板沿铅垂方向配置而成的开闭器部将基板收纳容器的开口部封闭。开闭器部使多个遮蔽板的全部或者一部分局部地移动，能够形成狭窄的开口部(第3开口部)，将基板收纳空间内部进行了气氛置换的状态下的基板的搬运经由该狭窄的开口部(第3开口部)进行。