法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-15
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 授权公告日:20090708 终止日期:20180222 申请日:20060222
专利权的终止
2009-07-08
授权
授权
2009-07-08
授权
授权
2008-03-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-03-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-01-30
公开
公开
2008-01-30
公开
公开
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机译: 具有装载口保持器和装载口的装置,用于光学掩模版的装载口和操作装载口的方法
机译: 具有装载口保持器和装载口的装置,用于光学掩模版的装载口和操作装载口的方法
机译: 半导体制造装置的装载口,装载口固定机构及装载口固定方法