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装载口及装载口的控制方法

摘要

本发明提供一种不受基板收纳容器的放置方向的限制,能够根据装载口连接的装置的形状灵活地对应,同时小型的装载口。另外,提供一种动作效率高的装载口。具体为,装载口具备用于放置基板收纳容器的载置台(12)和使前述载置台移动的移动机构,并开闭前述被放置的基板收纳容器的盖,还具备使前述载置台(12)旋转的旋转机构、及使前述载置台升降的升降机构。

著录项

  • 公开/公告号CN100511630C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2009-07-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社安川电机;

    申请/专利号CN200680003975.3

  • 发明设计人 大崎真;萩尾光昭;今中崇之;

    申请日2006-02-22

  • 分类号H01L21/677(20060101);B65G49/07(20060101);

  • 代理机构11290 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人武玉琴;王继文

  • 地址 日本福冈县

  • 入库时间 2022-08-23 09:02:31

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-02-15

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 授权公告日:20090708 终止日期:20180222 申请日:20060222

    专利权的终止

  • 2009-07-08

    授权

    授权

  • 2009-07-08

    授权

    授权

  • 2008-03-19

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-03-19

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-01-30

    公开

    公开

  • 2008-01-30

    公开

    公开

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