样品回收装置、样品回收方法及使用它们的荧光X射线分析装置

摘要

本发明公开了一种荧光X射线分析装置。该荧光X射线分析装置包括：回收单元，随着向表面上存在被测量物的基板上滴下液滴，使滴下的所述液滴在所述基板表面上移动，将所述被测量物取入至所述液滴中；干燥单元，使所述液滴干燥，使所述被测量物保持在所述基板的表面上；分析单元，向所述被测量物照射X射线，基于从所述被测量物出射的荧光X射线对所述被测量物中包含的元素进行定量分析；光束传感器，在回收所述被测量物后，使所述液滴干燥前，出射带状的激光，所述带状的激光检测从所述回收单元离开的所述液滴的量；以及运算单元，根据所述光束传感器的检测结果计算用于校正所述液滴的量或所述被测量物的定量分析值的校正系数。