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CMOS器件及调节CMOS器件阈值的方法

摘要

本发明提供了一种CMOS器件及调节CMOS器件阈值的方法。该方法包括以下步骤:S1,提供衬底,衬底包括NMOS区域和PMOS区域,NMOS区域至少具有第一鳍片和第二鳍片,PMOS区域至少具有第三鳍片和第四鳍片;S2,在衬底上顺序形成第一阻挡层和第一功函数层,第一阻挡层覆盖于NMOS区域和PMOS区域之上,第一功函数层位于第一阻挡层的不与第一鳍片和第二鳍片对应的表面上;S3,顺序形成第二功函数层和第二阻挡层,第二功函数层覆盖第一阻挡层和第一功函数层设置,第二阻挡层覆盖第二功函数层设置,第二阻挡层对应第一鳍片和第二鳍片的位置具有不同厚度,且第二阻挡层对应第三鳍片和第四鳍片的位置具有不同厚度。

著录项

  • 公开/公告号CN108511392B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-11-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;

    申请/专利号CN201810096680.X

  • 发明设计人 殷华湘;姚佳欣;王文武;叶甜春;

    申请日2018-01-31

  • 分类号

  • 代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人韩建伟

  • 地址 100029北京市朝阳区北土城西路3号

  • 入库时间 2022-08-23 10:43:10

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-11-12

    授权

    授权

  • 2018-10-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/8238 申请日:20180131

    实质审查的生效

  • 2018-10-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/8238 申请日:20180131

    实质审查的生效

  • 2018-09-07

    公开

    公开

  • 2018-09-07

    公开

    公开

  • 2018-09-07

    公开

    公开

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