公开/公告号CN106574324B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-10-22
原文格式PDF
申请/专利权人 攀时奥地利公司;
申请/专利号CN201580044609.1
申请日2015-08-10
分类号
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人张天舒
地址 奥地利乐特市
入库时间 2022-08-23 10:42:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-22
授权
授权
2017-05-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C22C1/04 申请日:20150810
实质审查的生效
2017-05-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C22C 1/04 申请日:20150810
实质审查的生效
2017-04-19
公开
公开
2017-04-19
公开
公开
机译: 钽溅镀靶是集气系统制造的方法,并且使用带有线障膜的靶形成了禁令导向体
机译: 用于氧化锌基薄膜制造的离子镀靶
机译: 用于溅射氧化物烧结体的靶及其制造方法以及使用该靶的薄膜的形成方法和薄膜形成方法