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一种银纳米线微图案化的制备方法

摘要

本发明公开了一种银纳米线微图案化的制备方法,步骤如下:a.将硅片光刻;b.将光刻后的硅片放在模具中,倒入PDMS和固化剂加热;c.将PDMS印章清洗,再用氧气等离子体处理,放入模具中,倒入琼脂溶液,固化成型后放入硝酸铁溶液中浸泡;d.恒温加热乙二醇再加入硝酸银溶液和PVP溶液反应,再分散在乙醇中;e.将银纳米线乙醇分散液滴在玻璃片上旋涂;f.将琼脂块取出,晾干后将旋涂后的玻璃片和琼脂有图案的一面接触,剥离即可得所需的图案。本发明使用了光刻技术和琼脂水凝胶结合的方法,在温和条件下,制备出具有高精度的银纳米线的微图案。相对于传统光刻方法,这种方法图案化速度更快,可重复利用,操作简便,可大批量生产。

著录项

  • 公开/公告号CN107999742B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-10-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华南理工大学;

    申请/专利号CN201711181702.4

  • 发明设计人 董华;曹晓东;肖文武;

    申请日2017-11-23

  • 分类号B22F1/00(20060101);B22F9/24(20060101);B82Y40/00(20110101);G03F7/00(20060101);

  • 代理机构44102 广州粤高专利商标代理有限公司;

  • 代理人何淑珍

  • 地址 511458 广东省广州市南沙区环市大道南路25号华工大广州产研院

  • 入库时间 2022-08-23 10:41:50

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-10-18

    授权

    授权

  • 2018-06-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):B22F1/00 申请日:20171123

    实质审查的生效

  • 2018-06-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):B22F 1/00 申请日:20171123

    实质审查的生效

  • 2018-05-08

    公开

    公开

  • 2018-05-08

    公开

    公开

  • 2018-05-08

    公开

    公开

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