法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-25
授权
授权
2017-05-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R1/067 申请日:20160930
实质审查的生效
2017-05-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 1/067 申请日:20160930
实质审查的生效
2017-04-19
公开
公开
2017-04-19
公开
公开
机译: 探针位置检查装置,半导体装置检查装置及半导体装置检查方法
机译: 探针位置检查装置,半导体装置检查装置以及半导体装置检查方法
机译: 探针位置检查装置,半导体装置的检查装置以及半导体装置的检查方法