一种微流体换向阀芯片及其制造方法

摘要

本发明公开了一种微流体换向阀芯片，包括微通道层、基片、基底和叉指形电极；所述微通道层位于整个芯片的上层，基片位于整个芯片的中间，基底位于整个芯片的下层，三者相互连接；所述基底开有两个温控沟槽，一个用于存放高于室温的液体，另一个用于存放低于室温的液体；所述叉指形电极溅射或沉积于基片上，叉指形电极由若干电极对构成，电极对均布于基片上；每个电极对均由两个大小相同的电极构成，两个电极在工作时分别通入相位差为180度的交流电势，两个电极之间在流体流动方向上相互平行且存在交叠区域；电极对内两个电极中的一个位于第一温控沟槽正上方，另一个位于第二温控沟槽正上方；电极对内两个电极之间的距离小于相邻两电极对之间的距离。