一种基于EWOD效应的微流体控制芯片研究

摘要

本文介绍了一种基于EWOD效应的微液滴控制芯片，该芯片利用硅微加工工艺制作，以多晶硅作为电极和SiO2作为绝缘层。我们进行了基于EWOD效应的液滴控制实验，测试了制作的芯片对于微液滴的控制性能。结果表明，在电压小于80V的时候，接触角测量值基本和预测曲线吻合。实验中得到的液滴最快移动平均速度为6.98mm/s。实现了液滴的四个基本操作动作：产生、合并、输运、分割。