一种传样装置和超高真空测量系统

摘要

本发明提供一种传样装置和超高真空测量系统，该传样装置包括：一个中转腔，所述中转腔内具有第一抓取装置；多个直线腔，每个直线腔的第一端与所述中转腔连通，第二端与一个检测设备连通，每个直线腔内具有一个沿着直线腔往复移动的样品小车，以在所述检测设备与直线腔的第一端之间传送样品；所述第一抓取装置具有在所述中转腔与任一直线腔之间伸缩的水平自由度，和在所述直线腔所在的平面内以所述中转腔的中心为轴旋转、以对准任一直线腔的旋转自由度，以将一个直线腔内的样品传送至另一个直线腔中。