一种光学非球面检测准万能补偿镜

摘要

一种光学非球面检测准万能补偿镜属于光学非球面检测技术领域。现有的一种双透镜万能补偿镜体积较大，不易制作和装调，并且，只能检测大近轴半径非球面，离心率变化范围小，检测精度低。本发明之准万能补偿镜由三个球面透镜依次同轴排列构成，分别为凸平、平凹、双凸透镜，凸平透镜的凸面与平凹透镜的凹面的曲率半径相等，凸平透镜的前焦点与标准球面镜的后焦点重合，凸平透镜与平凹透镜之间的光是平行光，由光学自准直法利用平面反射的光调校和定位，确定准万能补偿镜的初始位置，调至准万能补偿镜的球差与被检非球面的法向像差相等。全面克服现有技术的不足。可在较大范围内、较高的精度上检测二次、高次非球面。