多元素同时型荧光X射线分析装置和多元素同时荧光X射线分析方法

摘要

本发明的多元素同时型荧光X射线分析装置包括：装载试样(1)的试样台(2)；试样(1)的运送臂(22)；使试样台(2)移动的工作台(11)；照射一次X射线(7)的X射线源(8)，其中，在试样台(2)上形成用于让运送臂(22)沿竖直方向通过的缺口部(2e)，本底补偿机构(21)针对空白晶圆(1b)上的各测定点(Pn)，将下述强度作为测定点(Pn)的本底强度而预先存储，该强度指，从测定点(Pn)的测定强度中扣除位于缺口部(2e)上的基准测定点(P0)的测定强度后的强度，针对分析对象试样(1a)的各测定点(Pn)，从测定点(Pn)的测定强度中扣除测定点(Pn)的本底强度以进行补偿。