公开/公告号CN105821395B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-13
原文格式PDF
申请/专利权人 成均馆大学校产学协力团;
申请/专利号CN201610044459.0
申请日2016-01-22
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人樊英如
地址 韩国京畿道
入库时间 2022-08-23 10:38:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-13
授权
授权
2016-08-31
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/54 申请日:20160122
实质审查的生效
2016-08-31
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/54 申请日:20160122
实质审查的生效
2016-08-03
公开
公开
2016-08-03
公开
公开
机译: 金属氧化物薄膜,沉积金属氧化物薄膜的方法及包含金属氧化物薄膜的装置
机译: 金属氧化物薄膜,沉积金属氧化物薄膜的方法和包括该金属氧化物薄膜的装置
机译: 金属氧化物薄膜,金属氧化物薄膜的沉积方法以及包含金属氧化物薄膜的装置