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金属氧化物薄膜，沉积金属氧化物薄膜的方法及包含金属氧化物薄膜的装置

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摘要

本发明涉及一种包含β‑MoO3的金属氧化物薄膜，该β‑MoO3包含组Re、Mn及Ru中的至少一种掺杂元素。此外，本发明涉及一种经由溅射镀制造该种金属氧化物薄膜的方法；及一种包括金属氧化物薄膜的薄膜装置，该金属氧化物薄膜包含β‑MoO3，该β‑MoO3包含组Re、Mn及Ru中的至少一种掺杂元素。

著录项

  • 公开/公告号CN107074662B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-02-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 攀时奥地利公司;

    申请/专利号CN201580060640.4

  • 发明设计人 一杉太郎;

    申请日2015-11-05

  • 分类号C04B35/495(20060101);C04B35/622(20060101);C09K9/00(20060101);C23C14/08(20060101);C23C14/34(20060101);G02F1/1523(20190101);

  • 代理机构11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司;

  • 代理人樊晓焕;金小芳

  • 地址 奥地利乐特市

  • 入库时间 2022-08-23 11:31:41

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