利用光刻胶支撑层无损转移并图案化石墨烯的方法及应用

摘要

本发明公开了一种利用光刻胶支撑层无损转移并图案化石墨烯的方法及应用，属于有机发光二极管技术领域。采用光刻胶作为支撑层涂覆至石墨烯表面，可解决石墨烯的无损转移和图案化两个问题。由于光刻胶与石墨烯表面大小适中的相互作用，可使石墨烯能够被完整揭起并无损转移至待加工衬底；同时可直接利用此层光刻胶层对石墨烯进行光刻图案化，最终可获得具有清洁和平整表面的、精确图案化的大面积石墨烯。对于待图案化的石墨烯引入光刻胶支撑层，可实现一层两用，即光刻胶支撑层既能帮助转移石墨烯，又能直接为后续光刻图案化所用。利用光刻胶支撑层直接曝光对石墨烯进行图案化，还能够达到较高的分辨率，对于研发石墨烯触摸屏具有重要意义。