公开/公告号CN106030769B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-12
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社富士;
申请/专利号CN201480075741.4
发明设计人 大山茂人;
申请日2014-02-19
分类号H01L21/50(20060101);H01L21/52(20060101);H01L21/60(20060101);H01L21/66(20060101);H01L21/67(20060101);H05K13/04(20060101);
代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人穆德骏;谢丽娜
地址 日本爱知县知立市
入库时间 2022-08-23 10:36:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-12
授权
授权
2018-10-16
著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/50 变更前: 变更后: 申请日:20140219
著录事项变更
2018-10-16
著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/50 变更前: 变更后: 申请日:20140219
著录事项变更
2017-01-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/50 申请日:20140219
实质审查的生效
2017-01-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/50 申请日:20140219
实质审查的生效
2017-01-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/50 申请日:20140219
实质审查的生效
2016-10-12
公开
公开
2016-10-12
公开
公开
2016-10-12
公开
公开
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