用于晶片处理控制和诊断的电子集成硬件

摘要

一种用于半导体制造设备的中央控制器，其中集成了多个控制器，具有开放式结构以在不同的控制环路间进行实时通信。该中央控制器中包括至少一个中央处理单元，用来执行高级输入输出(I/O)和控制算法，以及至少一个集成的输入输出控制器，其提供与传感器和控制硬件的集成接口。集成的I/O控制器执行基本的输入输出和低级控制功能，并通过总线与中央处理单元连通，以实现对半导体生产设备的多种子系统的使用或控制。一种对半导体生产设备中所用的多个传感器和多个控制硬件进行控制的方法，在该方法中将一个应用软件加载到一个插接到总线上的CPU板。传感器和控制硬件与安装在单个电路板上的电控制器相连，该电路板在总线的存储空间中占据一地址块。然后，此单个电路板与总线插接，通过应用软件对传感器和控制硬件进行控制。