测定多孔薄膜厚度和孔隙率的方法

摘要

本公开提供了一种测定多孔薄膜厚度和孔隙率的方法，其对测得的至少两个测试共振光谱进行仿真拟合，得到多孔薄膜厚度d与其孔隙率P的至少两个P‑d函数关系，最后由这至少两个P‑d函数关系曲线的交点得到待测多孔薄膜的厚度及孔隙率。本公开不仅实现了直接对多孔薄膜的厚度进行测量，还可同时获得多孔薄膜的孔隙率，具有简便易行、成本低廉、无破坏性等特点，具有较好的应用前景。