一种具有亚纳米分辨率的薄膜厚度分布测量方法

摘要

本发明涉及一种具有亚纳米分辨率的薄膜厚度分布测量方法。利用发生表面等离子体共振的四层Kretschmann结构中，反射光强度反射率、反射相移随样品厚度的极其灵敏变化特性，采用数字全息术进行表面等离子体共振强度和相位成像，通过同时利用强度和相位图像的测量数据，将反射光的强度反射率、反射相移变为样品厚度的单调函数，无需对样品厚度进行预估便可实现亚纳米分辨率的厚度分布解调。