配备有具有MEMS结构的电容补偿器的差分电容型MEMS传感器设备

摘要

本发明公开了一种其具有MEMS结构的差分电容型MEMS传感器设备，该MEMS结构包括一差分电容型MEMS传感器和其具有MEMS结构的一电容补偿器。该差分电容型MEMS传感器设备包括：一固定框架单元，该固定框架单元包括成对配备的第一和第二固定框架，该第一和第二固定框架被部分的固定到MEMS基底上；一活动框架单元，该活动框架单元可移动的与MEMS基底相连以便在活动框架单元与第一固定框架之间产生第一电容并且在活动框架单元与第二固定框架之间产生第二电容；第一电容补偿框架单元，该第一电容补偿框架单元利用活动框架与活动电极之间所产生的电容来对第一电容进行补偿；以及第二电容补偿框架单元，该第二电容补偿框架单元利用活动框架与活动电极之间所产生的电容来对第二电容进行补偿。