在AWC系统中验证动态晶圆中心偏差位置的方法

摘要

本发明涉及机械控制技术领域，尤其是涉及一种在AWC系统中验证动态晶圆中心偏差位置的方法，该方法包括如下步骤，(1)机械手移动至工位上方的示教位置，利用激光跟踪仪记录初始的靶球位置同时记录当前示教盒上的关节值；(2)机械手带动晶圆进行平移，记录平移后示教盒上的关节值；(3)机械手缩回，重新将晶圆抬至工位上方的示教位置，记录新的靶球位置；(4)利用AWC功能检测晶圆中心的偏移量；(5)建立坐标系；(6)根据坐标系分别计算示教盒显示、AWC检测和激光跟踪仪实测的晶圆偏差结果并进行对比。本发明解决了验证测试中的晶圆的平移问题，没有额外添加仪器、设备来操作晶圆，提高了验证测试的效率。