基于分段技术的硅微动调陀螺仪高精度数字闭环检测电路

摘要

本发明公开一种基于分段技术的硅微动调陀螺仪高精度数字闭环检测电路，包括硅微动调陀螺仪的两组力矩反馈电极，两组信号敏感电极，以及两组闭环控制电路组成。每组闭环控制电路包括检测接口模拟处理电路、AD采样电路、FPGA控制算法、DA输出接口电路、直接数字式频率合成器。该硅微动调陀螺仪高精度数字闭环检测电路具有数字化控制和输出的优点，便于与外设接口相连；四路级联放大电路和AD采样电路的配合使用，拓宽了AD的采样范围，有益于提升对微弱信号的检测精度；DA输入信号的分级放大操作有益于充分发挥高精度DA的输出精度；控制算法在FPGA内实现，具有集成度高，体积小，功耗低等优点。