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用于一种测量薄层厚度的装置的测量探针

摘要

本发明涉及一种测量探针,尤其用于一种测量薄层厚度的装置,所述测量探针具有一个壳体(12),和一个安装截球体(19),所述壳体具有至少一个印刷电路板(16)和至少一个从属于该印刷电路板(16)的传感元件(37、38),所述安装截球体设置在壳体(12)的下端部上,其特征在于,一条具有至少一根连接导线(41)的柔性带(39)设置在至少一个印刷电路板(16)上并从壳体(12)中引出来。

著录项

  • 公开/公告号CN100346131C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2007-10-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN200310114983.3

  • 发明设计人 (要求不公开姓名);

    申请日2003-11-14

  • 分类号G01B7/06(20060101);H05K1/00(20060101);

  • 代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人张兆东

  • 地址 联邦德国辛德尔芬根

  • 入库时间 2022-08-23 08:59:44

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2007-10-31

    授权

    授权

  • 2005-12-07

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2004-08-11

    公开

    公开

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