公开/公告号CN100346131C
专利类型发明授权
公开/公告日2007-10-31
原文格式PDF
申请/专利权人 赫尔穆特菲舍尔房地产有限及两合公司;
申请/专利号CN200310114983.3
发明设计人 (要求不公开姓名);
申请日2003-11-14
分类号G01B7/06(20060101);H05K1/00(20060101);
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人张兆东
地址 联邦德国辛德尔芬根
入库时间 2022-08-23 08:59:44
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-10-31
授权
授权
2005-12-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-08-11
公开
公开
机译: 用于测量薄层厚度的测量探针以及用于制造测量探针的传感器元件的方法
机译: 用于测量薄层厚度的测量探针以及用于该测量探针的传感器元件的制造方法
机译: 用于测量薄层厚度的测量探针以及用于制造该测量探针的传感器元件的方法