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特别是用于测量薄层厚度的装置的测量探针

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摘要

一种用于测量薄层厚度的装置的测量探针，其具有：包括至少一个感测器元件(17)的外壳(14)，所述的感测器元件沿所述的外壳(14)的纵轴(16)至少轻微可移动地容纳于外壳(14)；以及接触球形罩(21)，其配有至少一个感测器元件(17)以用于将所述的探针(11)放置在测量物体的表面上，其中，所述的至少一个感测器元件(17)沿所述的外壳(14)的纵轴(16)由保持部件(18)容纳，所述的保持部件设计成弹性的承载弹簧，并且其固定在所述的外壳(14)上。

著录项

公开/公告号CN1975319B

专利类型发明专利
公开/公告日2012-11-07

原文格式PDF
申请/专利权人赫尔穆特·费希尔地产两合公司;
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申请/专利号CN200610171829.3
发明设计人 H·费希尔;
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申请日2006-11-14
分类号G01B7/00(20060101);G01B7/06(20060101);G01B1/00(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人温大鹏;胡强
地址德国辛德尔芬根
入库时间 2022-08-23 09:11:48

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2012-11-07

授权

授权
2008-09-10

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-06-06

公开

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专利
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外文文献

1. 特别是用于测量薄层厚度的装置的测量探针 [P] . 中国专利： CN1975319B . 2012.11.07
2. 用于一种测量薄层厚度的装置的测量探针 [P] . 中国专利： CN100346131C . 2007.10.31
3. Measuring probe for measuring the thickness of a thin layer and method for manufacturing a sensor element of a measuring probe [P] . 日本专利： JP6437586B2 . 2018-12-12

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5. MEASUREMENT PROBE FOR MEASURING THICKNESS OF THIN LAYER AND METHOD FOR MANUFACTURING SENSOR ELEMENT OF MEASUREMENT PROBE [P] . 日本专利： JP2017142258A . 2017-08-17

机译：用于测量薄层厚度的测量探针以及用于制造该测量探针的传感器元件的方法