一种各向异性氮化钛陶瓷薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种各向异性氮化钛陶瓷薄膜及其制备方法，由统一晶格取向的单层氮化钛纳米层片晶粒构成，所述层片晶粒的（111）晶面平行于薄膜表面排列堆垛，形成具有织构取向的氮化钛陶瓷薄膜；制备方法包括以下步骤：（1）置于氢氟酸中，腐蚀得Ti₃C₂陶瓷粉末；（2）将陶瓷粉末清洗后超声剥离，得单层的Ti₃C₂纳米片；（3）将Ti₃C₂纳米片经离心，真空抽滤后得到Ti₃C₂陶瓷薄膜前驱体；（4）干燥后得到Ti₃C₂陶瓷薄膜；（5）将Ti₃C₂陶瓷薄膜高温氮化处理得目标产物；本发明通过对Ti₃C₂陶瓷薄膜前驱体进行热处理，在高温下实现原位氮化，得到导电性能好、硬度高，具有各向异性的氮化钛陶瓷薄膜。