用于CVD或PVD装置的由固体或液体原料产生蒸汽的设备

摘要

本发明涉及一种用于CVD或PVD装置的用来产生蒸汽的设备，其具有至少两个沿运载气体的流动方向依次布置在壳体中的、具有传热面的传热体，所述传热体能分别加热至传热温度，所述设备具有用于将气溶胶导入所述传热体中的一个的输入管(4)，以便通过气溶胶颗粒与传热面形成接触而使气溶胶汽化。在此规定，所述传热体的至少一个具有开口，输入管(4)插入所述开口中，其中，输入管(4)具有用于输入气溶胶的第一流动通道(23)和用于输入运载气体的第二流动通道(24)，其中，设有气体贯穿口(29、30)，运载气体能通过气体贯穿口(29、30)从第二流动通道(24)流向第一流动通道(23)，并且其中尤其规定，第二流动通道(24)在输入管的通口(4')的区域中是封闭的。