用于CVD或PVD装置的由固体或液体原料产生蒸汽的设备

摘要

本发明涉及一种用于CVD或PVD装置的用来产生蒸汽的设备，其具有至少两个沿运载气体的流动方向依次布置在壳体中的、具有传热面的传热体，所述传热体能分别加热至传热温度，所述设备具有用于将气溶胶导入所述传热体中的一个的输入管(4)，以便通过气溶胶颗粒与传热面形成接触而使气溶胶汽化。在此规定，所述传热体的至少一个具有开口，输入管(4)插入所述开口中，其中，输入管(4)具有用于输入气溶胶的第一流动通道(23)和用于输入运载气体的第二流动通道(24)，其中，设有气体贯穿口(29、30)，运载气体能通过气体贯穿口(29、30)从第二流动通道(24)流向第一流动通道(23)，并且其中尤其规定，第二流动通道(24)在输入管的通口(4ˊ)的区域中是封闭的。

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于CVD(化学气相沉积)或PVD(物理气相沉积)装置的 用来产生蒸汽的设备，所述设备具有至少两个沿运载气体的流动方向依次布 置的、具有传热面的传热体，所述传热体能够被分别加热至传热温度，所述 设备具有输入管，用于将气溶胶输入至所述传热体中的一个，以便通过气溶 胶颗粒与传热面形成接触而使气溶胶汽化。

此外，本发明还涉及一种用于CVD或PVD装置的用来产生蒸汽的设备， 所述设备具有至少一个具有传热面的传热体，所述传热体能够被分别加热至 传热温度，并且所述设备还具有输入管，用于将气溶胶导入所述传热体中， 以便通过气溶胶颗粒与传热面形成接触而使气溶胶汽化。

背景技术

文献DE102011051260A1描述了一种用来产生蒸汽的设备。多个分别 具有不同横截面的传热体沿流动方向依次布置在壳体中。用于通过流体上游 的传热体供应气溶胶的输入管穿过壳体端面伸出，并且通向设备的中央空 腔。

在文献WO2012/175128A1所述的设备中，CVD或PVD装置、汽化装 置插入壳体中，该汽化装置具有两个在气溶胶的流动方向上依次布置的传热 体。两个传热体由可导电的固体泡沫构成，固体泡沫通过导通电流而被加热。 通过导管使得气溶胶输入汽化器中。气溶胶颗粒与传热体的传热面形成接 触，从而使颗粒被汽化。类似的装置在文献WO2012/175124A1、WO 2010/175126以及DE102011051261A1中也有所描述。

由文献US4,769,296和US4,885,211已知由有机原材料制造发光二级管 (有机发光二级管OLED)。为了制造这种OLED必须将固体或液体的原材料 转化为气态形式。这通过汽化器完成。气态化的原材料作为蒸汽被导入CVD 或PVD反应器的处理室中，蒸汽在该处凝集在基板上。

文献US2,447,789和EP0982411描述了在低压范围内沉积层的方法。

为沉积OLED所使用的原材料应该仅承受最大汽化温度，因为原材料在 相对较低的温度下就已经分解了。应该不达到或者仅在极短的时间内达到该 化学分解温度。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于，在工艺技术方面对这种类型的汽化器 进行改进。

所述技术问题按照本发明通过一种用于CVD或PVD装置的用来产生蒸 汽的设备解决，所述设备具有至少两个沿运载气体的流动方向依次布置在壳 体中的、具有传热面的传热体，所述传热体能够被分别加热至传热温度，所 述设备具有输入管，用于将气溶胶输入至所述传热体中的一个，以便通过气 溶胶颗粒与传热面形成接触而使气溶胶汽化，其中，所述传热体中的至少一 个具有开口，输入管插入所述开口中，其中规定，所述传热体能够被加热至 彼此不同的温度，其中，沿流动方向位于上游的第一传热体是用于运载气体 的预热体，所述运载气体通过位于第一传热体上游的运载气体输入管路能够 输入到所述壳体中，所述传热体在所述壳体中沿流动方向依次布置，从而使 运载气体穿流过所有传热体，并且要么所述输入管被导引穿过所述传热体的 开口并且通向第一与第二传热体之间的间隙，要么所述输入管的通口布置在 传热体中。所述技术问题按照本发明还通过一种用于CVD或PVD装置的用 来产生蒸汽的设备解决，所述设备具有至少一个具有传热面的传热体，所述 传热体能够被分别加热至传热温度，并且所述设备还具有输入管，用于将气 溶胶导入所述传热体中，以便通过气溶胶颗粒与传热面形成接触而使气溶胶 汽化，其中规定，所述输入管具有器件，以便使沿流动方向穿过所述输入管 的气溶胶流体扩散地从通口排出。所述技术问题按照本发明还通过一种用于 CVD或PVD装置的用来产生蒸汽的设备解决，所述设备具有至少一个能够 被加热至传热温度的传热体，所述传热体具有开口，输入管插入所述开口中， 以便导入气溶胶，其中，在传热体上游设有运载气体输入管路，以便导入运 载气体，其中规定，沿流动方向在传热体之前布置有回流阻遏，所述回流阻 遏尤其由两个在整个流动横截面上延伸的、紧密相邻的板件构成，所述板件 具有开口，其中，彼此不同的板件的开口横向于流动方向相互位错地布置。

根据本发明的第一方面首先并且主要规定，传热体中的一个具有开口， 输入管插入所述开口中。输入管具有通口，气溶胶这样通过所述通口输入壳 体中，从而使气溶胶颗粒通过与传热面形成接触而汽化。输入管的通口这样 布置在壳体中的运载气体输入管路的通口的下游，从而使运载气体首先在预 热体中被预热，之后运载气体与汽化的气溶胶混合。因此输入管的通口位于 预热体的上游区域的下游，运载气体穿过所述预热体流动。根据这种设计方 式还可能的是，输入管逆向于运载气体的流动方向插入传热体的开口中。这 样，输入管的通口则位于传热体的上游区域或位于具有开口的传热体与相对 于该传热体在上游布置的传热体之间。根据本发明，优选地规定，为上游的 传热体配置了开口，并且输入管的通口沿流动方向布置在前方或布置在该传 热体的下游。优选地，然而一个或多个输入管通入两个传热体之间的间隙中， 从而使由至少一个输入管的通口排出的气溶胶能通过尽可能大的面积进入 传热体的下游。沿流动方向上第一、也即上游的传热体可以用作运载气体的 预热体。所述第一传热体可以具有开口，用于输入气溶胶的输入管插入所述 开口中。输入管要么通入下游的传热体，要么通入紧邻下游的传热体的上游 的间隙中。根据这种设计方式所能确保的是，运载气体仅流经沿流动方向位 于上游的传热体，所述运载气体被加热。相反，在下游的传热体中除了运载 气体之外还输入气溶胶，从而气溶胶颗粒能与传热体的传热面形成接触。汽 化热在该处传递给颗粒，从而使固体或液体的气溶胶颗粒转化为气态形式。 尤其规定，链式地依次布置有多个传热体，所述传热体分别发挥汽化作用。 在这种布置中规定，其中一个下游的传热体具有汽化体的功能，该传热体还 具有一个或多个开口，输入管插入所述开口，所述输入管通入相对于该传热 体位于下游的间隙中或通入下游的传热体中。根据这种设计方式，第一气溶 胶在上游的汽化体中汽化，并且第二气溶胶在下游的汽化体中汽化。所述两 种气溶胶可以在不同的汽化温度下汽化。优选地，具有较低汽化温度的气溶 胶被输入上游的汽化体中，并且具有较高汽化温度的气溶胶被输入下游的汽 化体中。下游的汽化体则具有比上游的汽化体的传热温度更高的传热温度。 由此，还可以沿流动方向依次布置三个或更多传热体，其中，在流动方向上 的第一传热体仅用于加热运载气体，而多个下游的传热体分别用于气溶胶的 加热和气溶胶的汽化。在上游的汽化体中汽化的气溶胶作为蒸汽流经下游的 汽化体，其他气溶胶通过输入管被输入所述下游的汽化体中。所述汽化体优 选由如在文献WO2012/175128A1中所述的材料。所述材料是具有每英寸 400至100孔的孔隙率的微孔开放的固体泡沫。汽化体的是可导电的，从而 使汽化体能通过电流的导通而被加热至其汽化温度。为此优选地，具有矩形 轮廓的汽化体在两个相互对置的窄边上具有电接触件，电流能通过所述电接 触件导入汽化体中。输入管可以由电绝缘的材料或由金属制成。如果输入管 由金属制成，则输入管在开口的区域内被电绝缘套管包围。导热体位于壳体 中，所述导热体中的至少一个构成汽化体。导热体在整个壳体横截面上延伸， 从而使在壳体的上游输入的运载气体必须流经所有依次布置的传热体。气溶 胶或由气溶胶形成的蒸汽流经至少沿流动方向位于最后的传热体。最后的传 热体的蒸汽排放面可以是排气面，运载气体和借助运载气体被输送的汽化的 气溶胶通过所述排气面导向处理室。CVD或PVD反应器的处理室由此在流 动方向上位于紧邻沿流动方向位于最后的传热体的下方。大体上均匀的气流 通过该传热体的排气面进入处理室。基板位于处理室的底部，蒸汽应凝集在 所述基板上。承载基板的基座优选通过冷却装置被冷却。

本发明的第二方面涉及一种回流阻遏，所述回流阻遏沿流动方向布置在 第一传热体之前。回流阻遏由此位于运载气体输入管路与第一传热体之间。 回流阻遏优选由两个板状的结构体组成，所述结构体在汽化器的壳体的整个 横截面上延伸。两个板具有开口，运载气体可以穿过所述开口流动。所述两 个板的开口相互位错地设置，从而使运载气体必须首先穿过上游的回流阻遏 板的开口，然后偏转向间隙中，以便随后流动穿过第二回流阻遏板的开口。

此外，本发明还涉及一种输入管的改进方式。根据本发明的输入管具有 器件，由输入管的通口排出的气流借助所述器件扩散，从而使气流能通过尽 可能大的面积进入传热体。根据本发明改进的输入管优选通向两个传热体之 间的间隙中。然而所述输入管也可以在传热体的上游通入壳体的容纳区段。 输入管优选具有两个流动通道，其中，第一流动通道设置用于导通气溶胶， 而第二流动通道设置用于通过进入口将运载气体输入第一流动通道中。通过 经由进入口通入第一流动通道中的运载气体可以对第一流动通道内部的流 体产生影响。第一流动通道优选具有横截面，所述横截面大于第二流动通道 的横截面。通过运载气体流可以在第一流动通道内部形成湍流，所述运载气 体流通过一个或多个气体贯穿口进入。为此尤其设置第一气体贯穿口，其相 对于第一流动通道的延伸方向或者说相对于气溶胶的流动方向成锐角地通 向第一流动通道。还可以设有第二气体贯穿口，其尤其沿流动方向后接在第 一气体贯穿口上，并且特别优选地布置在输入管的通口的区域中。利用所述 第二气体贯穿口应形成涡旋。第二气体贯穿口不仅相对于第一气体贯穿口、 而且还相对于气溶胶的流动方向成锐角地通入第一流动通道中。实际上，第 二气体贯穿口相对于穿过流动通道的横截面倾斜地定向，从而使沿顺时针方 向或逆时针方向旋转的运载气体流输入第一流动通道中。由此可以形成涡 流。由此导致的离心力作用使得由输入管的通口排出的气体流扩散。此外， 在本发明的改进方式中还规定，所述两个流动通道由两个相互套插的管件构 成，从而使流动通道相互共轴地布置，其中，气溶胶通过内部的流动通道流 动。构成第一流动通道的管件在其通口上具有拓宽部，从而使第一流动通道 的横截面从通口侧沿流动方向直至输入管的端部持续增大。这还导致了由通 口排出的气体流的扩散。多个第一和第二气体贯穿口沿流动方向依次排列地 布置。输入管具有中央流动通道，气溶胶穿过所述中央流动通道流动。该流 动通道被壁部包围。所述壁部优选被冷却。为此，优选设有用于冷却流动通 道的壁的器件。在此涉及流动通道，较冷的冷却剂输入所述流动通道中。冷 却剂可以是运载气体，所述运载气体通过之前所述的开口由沿径向位于外部 的流动通道流向沿径向位于内部的流动通道中。然而还可行的是，气溶胶流 经的流动通道的壁部被冷却套包围，所述冷却套例如是液体冷却的，或者在 所述冷却套中设置其他技术措施，以便输出热量。由此，一方面避免在输入 管内部发生气溶胶的汽化和可能的重凝集。AlQ3(三(8-羟基喹啉)铝)在真空 条件下由固体状态直接转化为气体状态。其他有机材料、例如NPD(N,N'-二 苯基-N,N'-(1-萘基)-1,1'-联苯-4,4'-二胺)在汽化之前熔融。因此规定，另一方 面使流动通道的壁在低于气溶胶颗粒的熔融温度的温度下保温。由此避免气 溶胶颗粒在输入管内部的熔融。

附图说明

以下结合附图对本发明的实施例进行阐述。在附图中：

图1以纵向剖视图的方式示出本发明的第一实施例，其中，在CVD反 应器的上游布置汽化装置；

图2示出本发明的第二实施例，其中，沿流动方向位于最后的传热体3 的进气面同时是处理室15的进气面；

图3同样以沿根据图4中剖切线III-III的纵向剖视图的方式示出本发明 的第三实施例；

图4示出根据图3中的剖切线IV-IV的剖视图；

图5示出根据图3中的剖切线V-V的剖视图；

图6示出本发明的第四实施例；

图7示出本发明的第五实施例；

图8示出本发明的第六实施例；

图9以立体图方式示出根据本发明的输入管；

图10示出穿过图9所示输入管的纵向剖视图；

图11示出根据图10中的剖切线XI-XI的剖视图；和

图12示出根据图10中的剖切线XII-XII的剖视图。

具体实施方式

在附图中仅示意性示出的设备用于将OLED层沉积在基板14上，所述 基板在处理室15中被放置在被冷却的基座13上。由汽化的气溶胶形成的处 理气体被输入处理室15。这是借助运载气体完成的，所述运载气体通过运载 气体输入管路11输入汽化器的壳体12中。多个传热体1、2、3处于所述汽 化器中。传热体1、2、3在汽化器壳体12的整个横截面上延伸，并且沿流 动方向依次布置。这导致了，通过运载气体输入口或者说运载气体输入管路 11被导入的运载气体沿流动方向穿过所有传热体1、2、3流动，所述运载气 体是惰性气体、H₂、N₂或稀有气体。

在实施例中，沿流动方向布置在最上方的传热体1构成用于预热运载气 体的预热体。然而还规定，运载气体的预热在汽化器壳体12的外部进行， 从而使在汽化器壳体12内部沿运载气体的流动方向最先布置的传热体是用 于气溶胶的汽化体。

设有两个沿流动方向依次布置的汽化体2、3，所述汽化体在所有实施 例中位于预热器1的下游。借助输入管4、5向汽化体2、3输入彼此不同的 气溶胶。这是这样完成的，即具有较低汽化温度的第一气溶胶穿过输入管4 在上游的汽化体2中汽化，而具有较高汽化温度的第二气溶胶被供给到第二 汽化体3，所述第二汽化体布置在第一汽化体2的下游。

预热体1和两个相对于该预热体布置在下游的汽化体2、3分别由传热 体构成。传热体1、2、3由固体泡沫构成。所述固体泡沫具有开放的微孔并 具有每英寸400至100孔的孔隙率。

根据本发明，气溶胶的输入是通过管状的输入管4、5完成的，所述输 入管穿过传热体1、2、3的开口6、7、8或插入传热体2、3的开口6、8。 所述开口优选沿运载气体的流动方向延伸，其中，输入管或者沿流动方向或 者逆向于流动方向插入开口6、7、8中。

在图1所述的实施例中仅设置一个汽化体2。该汽化体与用于运载气体 的预热体1共同位于汽化装置的壳体12中。预热体1、也即上游的传热体1 相对于下游的传热体2、也即汽化体沿流动方向相互间隔。由此构成了两个 传热体1、2之间的间隙9。输入管4的通口4'通向所述间隙9，所述输入管 插入传热体1的沿运载气体11的流动方向延伸的开口6中。开口6的内径 等于输入管4的外径，从而使输入管4紧密地贴靠在开口6的内壁上。

通过输入管4将气溶胶输入间隙9中。气溶胶与穿过预热器1而被预热 的运载气体共同向第二传热体2输送。在那里，气溶胶的颗粒接触传热体2 的传热面。汽化热量输送给气溶胶的颗粒，从而使被汽化的气溶胶与运载气 体共同从传热体2的排气面排放。热量输送由电流完成。蒸汽和运载气体经 过排气口22从汽化器12流向CVD反应器17的进气机构16。运载气体和 汽化的气溶胶通过进气机构16的排气口进入处理室15。输入管4由金属制 成，并且借助绝缘套管28相对于传热体1绝缘。

在图2所示的第二实施例中，在传热体2的下方布置了另一个传热体3。 在传热体2与传热体3之间构成第二间隙10。输入管5通向第二间隙10， 以将第二气溶胶输入间隙10。输入管5插入传热体1的开口7和传热体2 的开口8中。第二气溶胶由此通过输入管5导引穿过两个传热体1和2。

传热体2、3还可以在同一传热温度下工作。然而优选地，下游的传热 体3具有比上游的传热体2和预热体1更高的传热温度。由此，第二气溶胶 可以在传热体3中汽化，所述第二气溶胶具有比第一气溶胶更高的汽化温度， 所述第一气溶胶通过输入管4输入间隙9和传热体2中。

有别于第一实施例，在此沿流动方向位于最后的传热体3的排气面3' 构成输入面，被汽化的气溶胶与运载气体共同通过所述输入面进入处理室15 中。

在图3所示的实施例中，三个沿流动方向依次布置的传热体1、2、3以 相互接触的状态放置，以至于在沿流动方向依次相继的传热体1、2、3之间 没有形成间隙。在该实施例中，输入管4通口4'位于第一汽化体2的上游区 段中。第二输入管5也和第一输入管4一样穿过流动方向上的第一传热体1 的开口并且还穿过流动方向上的第二传热体2的开口8，从而使输入管5的 通口5'通向第三传热体3的上游区段。此处，在相互不同的传热体2、3的 相互不同的温度下使相互不同的气溶胶汽化。

汽化能的输入是通过电流的导通完成的。为此，传热体1、2、3具有电 接触面20、21。在该实施例中，传热体具有矩形的平面轮廓，从而使电接触 面20、21能配属于传热体1、2、3的相互对置的窄侧壁。

在图6中所示的第四实施例还示出了回流阻遏，所述回流阻遏由两个板 状的回流阻遏板18、19构成。所述两个回流阻遏板18、19沿流动方向位于 用于输入运载气体的供给口11与流动方向上的第一传热体1之间。回流阻 遏板18、19被输入管4、5贯穿。所述回流阻遏板为此具有相应的开口。在 回流阻遏板18、19上主要是回流阻遏板18的开口18'和回流阻遏板19的开 口19'。开口18'和19'沿流动方向相互位错地设置，从而使由运载气体输入管 路11进入壳体12的运载气体必须首先穿过上游的回流阻遏板18的开口18'， 然后才偏转到两个回流阻遏板18、19之间的间隙中，以便随后通过下游的 回流阻遏板19的开口19'排出。回流阻遏板装置避免了所形成的气溶胶的由 传热体的上游表面排出的蒸汽会进入汽化器壳体12的上部区域中。

在图7所示的第五实施例中，气溶胶的导入不是通过沿运载气体的流动 方向插入传热体1、2的输入管4、5，而是通过逆向于运载气体的流动方向 插入传热体2、3的开口6、7、8的输入管4、5完成的。此处在一定程度上 自下完成输入管4、5的导入。输入管4由此插入两个汽化体2、3的开口7、 6，第一气溶胶通过所述输入管通向预热体1与第一汽化体2之间的空隙9。 在此和所有实施例一样，输入管4、5的外壁或者所包围输入管4、5的外壁 的绝缘套管28以接触状态贴靠在各个传热体1、2、3的相应的开口6、7、8 的内壁上。

输入管5仅插入沿流动方向下游的汽化体3的开口8中，所述输入管5 的通口5'布置在汽化体2与汽化体3之间的第二间隙10中。

在图8中所示的第六实施例示出汽化装置12，其中，三个传热体1、2、 3与图3所示的第三实施例类似地沿运载气体的流动方向紧密地依次布置。 此外，该实施例还具有上述回流阻遏板装置18、19。

输入管4的通口4'在此通向布置在预热体1下方的第一汽化体2中，而 且还紧邻第一汽化体的上边沿的下方。输入管5的通口5'紧邻第二汽化体2 的上边沿的下方。在此，输入管5插入汽化体3的开口8中。输入管4插入 汽化体2的开口6中并且穿过汽化体3的开口7。

图9至图12示出了根据本发明构成的输入管4。输入管4由两个共轴 地相互套插的管件33、34构成，其中，内部管33的上方和下方边缘与外部 管34的上方和下方边缘气密地相连。内部管33的管口构成第一流动通道23， 气溶胶可以通过所述第一流动通道导通，所述气溶胶通过轴向的输入口25 输入第一流动通道23中。内部管33在输入管4的通口4'的区域中沿径向向 外拓宽。外部管34的通口侧的端部区段被由绝缘材料制成的冷却套28包围。 管件33、34本身由金属制成、尤其由不锈钢制成。

外部管34具有总共四个径向的输入口26，运载气体通过所述输入口26 输入流动通道24中，所述流动通道处于内部管33与外部管34之间。流动 通道24通过第一贯穿口29和第二贯穿口30与内部的第一流动通道23相连。 这样构成的气体贯穿口29、30由直径较小的孔构成，从而在该处使气体流 能以高流动速度穿过。第一气体贯穿口29具有倾斜度，从而使此处排出的 “气体射流”相对于流动方向S倾斜地进入流动通道23中。气体贯穿口29 不仅可以具有沿流动方向上的倾斜度，而且还可以具有沿切向方向上的倾斜 度，从而使由气体贯穿口排出的气体流还能形成涡流。第一气体贯穿口29 用于形成在第一流动通道23内部的湍流。第一气体贯穿口29布置在第二气 体贯穿口30的上游。在输入管4的周向方向上和延伸方向上设置了多个第 一气体贯穿口29。使流动通道23的壁件冷却的气体流可以流动穿过所述流 动通道24，从而避免输入管内部的温度超过导致气溶胶汽化或导致固体气溶 胶颗粒熔融的温度。否则的话，有时会发生的重凝集或熔融可能会堵塞输入 管。

第二气体贯穿口30位于通口4'的附近。在此，还在输入管4的周向方 向和延伸方向上布置了多个第二气体贯穿口30。构成气体贯穿口30的孔具 有相对于内部管33的切向角，因此由第二气体贯穿口30排出的“气体射流” 迫使沿流动方向S流动的气溶胶流体发生涡流。这与拓宽部27相结合使得 由通口4'排出的气体流扩散。此外，构成第二气体贯穿口30的孔还可以具 有相对于输入管4的延伸方向的倾斜度。

拓宽部27一直延伸至外部管34的下边沿，并且由此构成流动通道24 的通口侧的封闭。由于在通口区域形成涡流，离开通口的气溶胶流体得到横 向于输入管4的延伸方向定向的运动分量，以至于与从通口4'排出的沿输入 管4的延伸方向指向的气体流的情况相比，使气溶胶更均匀地分布在间隙9、 10中。

附图标记31表示螺纹区段，输入管4可以利用所述螺纹区段旋拧进未 示出的壳体中。为了操作旋拧工具，设有呈两个相互对置的平面形式的旋拧 工具操作型面32。

上述实施方式用于阐述全部包含在本申请中的发明，所述发明至少通过 以下技术特征组合分别对现有技术进行了创造性的改进，也即：

一种设备，其特征在于，所述传热体1、2、3中的至少一个具有开口6、 7、8，输入管4、5插入所述开口6、7、8中。

一种设备，其特征在于，所述输入管4、5被导引穿过所述传热体1、2、 3的开口6、7、8并且通向第一与第二传热体1、2；2、3之间的间隙9、10， 或者所述输入管4、5通入其它传热体2、3中。

一种设备，其特征在于，所述开口6、7配属于上游的传热体1、2，并 且所述输入管4、5的通口4'、5'沿流动方向布置在下游的传热体2、3的前 面或布置在下游的传热体2、3中。

一种设备，其特征在于，沿流动方向位于上游的第一传热体1是用于运 载气体的预热体，所述运载气体通过位于第一传热体1上游的运载气体输入 管路11能够输入到所述壳体12中，所述传热体1、2、3在所述壳体12中 沿流动方向依次布置，从而使运载气体穿流过所有传热体1、2、3。

一种设备，其特征在于，所述传热体1、2、3由微孔开放的固体泡沫构 成，所述固体泡沫具有每英寸500至100孔的孔隙率，其中，所有开放的面 积占固体泡沫的表面积的比例尤其大于90％。

一种设备，其特征在于，所述传热体1、2、3是导电的并且具有电接触 件20、21，以便为了将所述传热体1、2、3加热至传热温度而导通电流。

一种设备，其特征在于，沿流动方向布置的传热体1、2、3能被加热至 彼此不同的温度，其中，下游的传热体2、3的传热温度高于上游的传热体1、 2的传热温度。

一种设备，其特征在于，所述输入管具有器件29、30、27，以便使沿流 动方向S穿过所述输入管4的气溶胶流体扩散地从通口4'排出。

一种设备，其特征在于，所述输入管4具有用于输入气溶胶的第一流动 通道23和用于输入运载气体的第二流动通道24，其中，设有气体贯穿口29、 30，运载气体能通过所述气体贯穿口29、30从所述第二流动通道24流向所 述第一流动通道23，并且其中尤其规定，所述第二流动通道24在所述输入 管的通口4'的区域中是封闭的。

一种设备，其特征在于，第一气体贯穿口29相对于气溶胶的流动方向 S以一定角度通向第一流动通道23，从而使流经第一气体贯穿口29的运载 气体流在所述第一流动通道23中形成湍流，其中尤其规定，所述第二流动 通道24包围所述第一流动通道23。

一种设备，其特征在于，第二气体贯穿口30相对于气溶胶的流动方向 以一定角度布置在所述第一流动通道23中，从而使流经第二气体贯穿口30 的运载气体流在所述通口4'的区域中形成绕着沿流动方向S定向的轴线的涡 流。

一种设备，其特征在于，构成所述第一流动通道23的管件33在所述通 口4'的区域中具有尤其旋转对称的拓宽部27。

一种设备，其特征在于，输入管4、5的在开口6、7中延伸的区段被绝 缘套管28包围。

一种设备，其特征是用于冷却流动通道23的壁的器件，气溶胶穿过所 述流动通道23流动。

一种设备，其特征在于，所述器件为了进行冷却具有流动通道23，冷 却剂能够被导引流过该流动通道。

一种设备，其特征在于，沿流动方向在传热体1之前布置有回流阻遏 18、19，所述回流阻遏18、19尤其由两个在整个流动横截面上延伸的、紧 密相邻的板件构成，所述板件具有开口18'、19'，其中，彼此不同的板件的 开口18'、19'横向于流动方向相互位错地布置。

所有公开的技术特征(本身、然而也可以彼此结合)都是有创造性的。所 附/所属的优先权文件(在先申请文本)的公开内容也全部包含在本申请的公 开内容中，出于此目的，所述文件的技术特征也包含在本申请的权利要求中。 从属权利要求以其技术特征描述了对现有技术的独特的、创造性的改进方 案，尤其可以以所述权利要求为基础进行分案申请。

附图标记清单

1传热体

2传热体

3传热体

3'底侧

4输入管

4'通口

5输入管

5'通口

6开口

7开口

8开口

9间隙

10间隙

11运载气体输入管路

12壳体

13基座

14基板

15处理室

16进气机构

17CVD反应器

18回流阻遏板

18'开口

19回流阻遏板

19'开口

20电接触件

21电接触件

22排气口

23流动通道

24流动通道

25输入口

26输入口

27拓宽部

28绝缘套管

29气体贯穿口

30气体贯穿口

31螺纹区段

32旋拧工具操作型面

33内部管

34外部管