一种基于有机铁电薄膜的电阻开关存储器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种基于有机铁电P(VDF‑TrFE)薄膜的电阻开关存储器。所述电阻开关存储器包括：衬底、衬底上的阻变介质层以及阻变介质层上的电极膜；其中，阻变介质层为P(VDF‑TrFE)薄膜。本发明还提供了一种制备所述电阻开关存储器的方法，通过控制溶胶凝胶配制、甩膜速度和退火条件，可以得到性能优异的电阻开关薄膜。本发明所涉及的主要生长条件为：溶剂的选用、搅拌速度和温度、静置时间、甩膜速率、基底、退火时间和条件。本发明相比于常见的电阻开关最大的特点是阻变大、循环和疲劳性能优异。制备P(VDF‑TrFE)薄膜所需的原料简单，操作方便，容易控制，产物结晶好，制备温度低，无毒且环境友好，适合大规模生产，所得薄膜可被广泛用于电子器件，尤其是电阻开关存储。