重掺硼直拉硅片的基于快速热处理的内吸杂工艺

摘要

本发明公开了重掺硼直拉硅片的基于快速热处理的内吸杂工艺，步骤如下：1)将重掺硼硅片清洗后先在氩气氛下于1200-1280℃热处理5-50秒，然后保持温度不变，将处理气氛变换成氧气，继续热处理5-50秒，最后在氧气氛下冷却；或者先在氩气氛下于1200-1280℃热处理5-50秒，冷却后，再在氧气氛下于1200-1280℃热处理5-50秒；2)将经过步骤1)处理的重掺硼硅片在氩气氛下，先在800℃下退火4小时，然后再在1000℃下退火16小时。本发明采用变换保护气氛的高温快速热处理和低、高温度下两步退火，可以有效地实现重掺硼硅片的内吸杂结构，这种内吸杂结构在后续处理过程中很稳定，并且热周期短，重复性好。