法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-21
授权
授权
2017-10-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G01S17/08 申请日:20170629
实质审查的生效
2017-10-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G01S 17/08 申请日:20170629
实质审查的生效
2017-09-29
公开
公开
2017-09-29
公开
公开
2017-09-29
公开
公开
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机译: MEMS扫描微镜和双轴电磁MEMS扫描微镜器件
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