法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-28
授权
授权
2017-03-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L33/00 申请日:20141015
实质审查的生效
2017-03-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 33/00 申请日:20141015
实质审查的生效
2017-02-22
公开
公开
2017-02-22
公开
公开
机译: 基于激光诱导等离子体(LIP)的原子发射光谱仪,包括原子发射光谱仪的半导体制造设施以及使用原子发射光谱仪制造半导体器件的方法
机译: 火焰消除原子吸收和原子辐射光谱的样品支持物及其制造
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