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用于KDP类晶体的高精密油浴退火炉

摘要

一种用于KDP类晶体的高精密油浴退火炉,包括保温筒、保温盖,在保温筒内设有内筒,在保温筒的内壁上安装有加热器,在加热器的内壁与内筒的外壁之间布置有侧壁油道和多孔筛环,保温筒的底部上表面和内筒的底部下表面之间布置有底部油道,内筒底部上表面的中心与出油管的进油端相连,出油管的出油端与油泵的进口连接,在出油管旁边安装进油管,进油管的进油端与油泵的出口相连,进油管的出油端位于保温筒的底部上表面、连通所述的底部油道。本发明具有很高的温度均匀性,待退火的晶体附近的温度均匀性在±0.1℃以内,可以为提升KDP类晶体的退火温度、达到较为理想的退火效果提供有力的保障。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-05-17

    授权

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  • 2018-01-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B33/02 申请日:20170714

    实质审查的生效

  • 2018-01-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 33/02 申请日:20170714

    实质审查的生效

  • 2017-12-15

    公开

    公开

  • 2017-12-15

    公开

    公开

  • 2017-12-15

    公开

    公开

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