硅微机械双通道循环流式Z轴角速度传感器

摘要

本申请公开了一种硅微机械双通道循环流式Z轴角速度传感器，该气流式角速度传感器包括双通道循环流式Z轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，双通道循环流式Z轴角速度芯片包括PET上盖、上硅板、下硅板、PET底盖和压电陶瓷圆振子；压电陶瓷圆振子嵌入PET上盖上；上硅板上设置有射流网络；下硅板上设置有射流网络和两对分别位于两个射流敏感室的平行热线；PET上盖、上硅板、下硅板和PET底盖依次粘接构成所述角速度芯片。本申请的气流式角速度传感器的热线独立设置在两个不同的射流敏感室内分别与两个射流敏感体进行热量交换，彼此独立，互不影响，不仅敏感的角速度稳定性好，而且两对热线分别串联，热线电阻大，在通以相同热线电流情况下，角速度输出电压大，比普通单射流敏感室的气流式角速度传感器的灵敏度高，实用性强。