使用磁性材料在加速计上的磁强计

摘要

MEMS装置包含第一质量块；第一磁化磁性材料，其部分安置在所述第一质量块的表面上；第一弹簧，其锚定在衬底上以支撑所述第一质量块；以及第一感测元件，其耦合到所述第一质量块并且可操作以感测由环境加速度引起的所述第一质量块的运动。所述MEMS装置进一步包含第二感测元件，其耦合到所述第一质量块并且可操作以感测由环境磁场引起的所述第一质量块的所述运动。