法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-12
授权
授权
2017-04-05
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C18/00 申请日:20161201
实质审查的生效
2017-04-05
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 18/00 申请日:20161201
实质审查的生效
2017-03-08
公开
公开
2017-03-08
公开
公开
机译: MEMS装置,液体点胶头,液体点胶装置,MEMS装置的制造方法,液体点胶头的制造方法,以及液体点胶装置的制造方法
机译: MEMS装置,液体点胶头,液体点胶装置,MEMS装置的制造方法,液体点胶头的制造方法,以及液体点胶装置的制造方法
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