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电子部件对准方法及其所使用的装置

摘要

精确定位两个电子部件的方法,通过在标记识别装置的同一图中捕获用于定位这两个电子部件的标记工具来测量其位置,包括如下步骤:将第一电子部件保持在支撑工作台上,第一电子部件具有两个被设置在特定位置上、彼此隔开一特定距离的定位孔;将第二电子部件保持在位置调节装置上,第二电子部件具有两个形成在特定位置上、以便与两个定位孔之间的间隔相匹配的对准标记;在对准标记被插入第一电子部件的定位孔的状态下,在标记识别装置的同一图中捕获第二电子部件的对准标记;测量两对准标记的位置;以及利用位置调节装置调节第二电子部件的位置,使得第二电子部件的对准标记与第一电子部件的定位孔呈特定的位置关系。

著录项

  • 公开/公告号CN1330494C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2007-08-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 索尼株式会社;

    申请/专利号CN03801840.3

  • 申请日2003-09-30

  • 分类号B41J2/16(20060101);H01L21/00(20060101);

  • 代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人马高平;杨梧

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 08:59:36

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-11-20

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B41J 2/16 授权公告日:20070808 终止日期:20120930 申请日:20030930

    专利权的终止

  • 2007-08-08

    授权

    授权

  • 2005-06-29

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-04-27

    公开

    公开

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