首页> 中国专利> 一种有机超晶格锐钛型钛化氧化钨薄膜红外光敏材料的制备方法

一种有机超晶格锐钛型钛化氧化钨薄膜红外光敏材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种有机超晶格锐钛型钛化氧化钨薄膜红外光敏材料的制备方法,其步骤如下:步骤1,制备钨镀膜液;步骤2,得到二氧化钛镀膜液;步骤3,制备改性液;步骤4,将基底材料浸泡至钨镀膜液中,搅拌均匀后,在烘箱内烘干,得到钨膜;步骤5,将钨膜浸泡至二氧化钛镀膜液中,然后快速冷却,形成纳米二氧化钛前驱薄膜;步骤6,将步骤5中的薄膜基底材料进行高温烧结,形成纳米二氧化钛‑氧化钨薄膜;步骤7,将步骤6的薄膜浸泡至步骤3中乙醇水溶液中,多次微沸蒸煮,捞出后,快速固化;步骤8,步骤7中的薄膜材料退火处理得到产品。本发明制备方法简单,解决了钛化和氧化钨薄膜材料的平整度和均匀性低、缺陷大、粗糙度高等问题。

著录项

  • 公开/公告号CN106469645B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-03-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 绍兴文理学院;

    申请/专利号CN201610821665.8

  • 发明设计人 刘士彦;张依;姚博;

    申请日2016-09-14

  • 分类号

  • 代理机构北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人李静

  • 地址 312000 浙江省绍兴市城南大道900号绍兴文理学院数理信息学院

  • 入库时间 2022-08-23 10:28:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-03-29

    授权

    授权

  • 2017-03-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20160914

    实质审查的生效

  • 2017-03-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20160914

    实质审查的生效

  • 2017-03-01

    公开

    公开

  • 2017-03-01

    公开

    公开

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