法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-29
授权
授权
2017-03-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20160914
实质审查的生效
2017-03-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20160914
实质审查的生效
2017-03-01
公开
公开
2017-03-01
公开
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机译: 锐钛型二氧化钛薄膜,制备锐钛型二氧化钛溶胶的方法和制备锐钛型二氧化钛薄膜的方法
机译: 技术领域[0001]本发明涉及一种用于制造层状超晶格材料的方法和包括该层状超晶格材料的电子器件的制造方法(制造层状超晶格材料和制造包括相同层的电子器件的方法)
机译: 硅团簇超晶格,硅团簇超晶格的制备方法,硅团簇的制备方法,硅团簇超晶格结构,硅团簇超晶格结构的制备方法,半导体器件和量子器件