基板运送装置和基板运送方法以及真空处理装置

摘要

本发明提供一种基板运送装置，其包括：基座；以可沿前后滑动的方式设置于基座上的1个臂或上下叠置的多个臂；支承台，该支承台可沿前后滑动地设置于臂中的最上段的臂上，支承基板；驱动源，该驱动源驱动臂和支承台；和驱动传递机构，该驱动传递机构将驱动源的驱动力传递给各臂和支承台；驱动传递机构，具有两个以上的直径不同的皮带轮或者齿轮或者链环机构，在使臂中的其中一个臂在第一行程滑动时，使其上的臂或支承台以大于第一行程的第二行程滑动；通过驱动源和驱动传递机构，使支承台和所述1个或多个臂在收缩状态和伸长状态之间变化，由此，在第一位置和第二位置之间，进行所述基板的运送动作。