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剥离起点形成装置及形成方法、叠层体制造装置

摘要

本发明的一个方式的目的是:提供一种剥离起点形成装置,借助于剥离起点能够剥离加工构件的表层以分离剩余部;提供一种具备被剥离了表层的加工构件的剩余部及支撑体的叠层体的制造装置。本发明的一个方式包括:支撑加工构件的载物台;与载物台相对的切削工具;支撑切削工具的头部;支撑头部的臂部;以及将切削工具相对载物台移动的移动机构。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-03-26

    授权

    授权

  • 2016-10-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20140829

    实质审查的生效

  • 2016-10-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20140829

    实质审查的生效

  • 2015-03-18

    公开

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  • 2015-03-18

    公开

    公开

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