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使用两个温度传感装置调整CVD反应器过程室内温度的设备和方法

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本发明涉及一种用于热处理，尤其用于涂敷衬底(9)的设备和方法，包括由与第一温度传感装置(7、12)配合工作的调整器(13)调整的加热装置(11)。为防止温度偏移，建议第二温度传感装置(8)用于识别第一温度传感装置(7、12)的温度偏移和再校准第一温度传感装置(7、12)。第一温度传感装置(7、12)确定在基座(10)第一位置(M

著录项

公开/公告号CN105934659B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-08

原文格式PDF
申请/专利权人艾克斯特朗欧洲公司;
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申请/专利号CN201480074076.7
发明设计人 A.博伊德;P.S.劳弗;J.林德纳;H.席尔瓦;A.泰勒斯;
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申请日2014-12-15
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人侯宇
地址德国黑措根拉特
入库时间 2022-08-23 10:27:25

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-03-08

授权

授权
2017-01-04

实质审查的生效 IPC(主分类):G01J5/00 申请日:20141215

实质审查的生效
2017-01-04

实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 5/00 申请日:20141215

实质审查的生效
2016-09-07

公开

公开
2016-09-07

公开

公开

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